Lensa F-Theta umume digunakake bebarengan karo pangilon pindai galvanometer ing sistem ukiran, pemotongan, lan penandaan laser. Biasane distorsi F-Theta lensa dijaga kurang saka 1% supaya bisa ngasilake titik sing tepat ing medan datar ing bidang gambar.
Toleransi Diameter: +0/-0.13mm
Toleransi Kekandelan: ±0.25mm
Toleransi Dawane Fokus: ±2%
Variasi Ketebalan Tepi (ETV): ≤3 min busur.
Bukaan sing Jelas: >90%
Surface Flatness: λ/4 per 1″ Dia@632.8nm
Kualitas Permukaan: 40-20 SD
Lapisan AR: R<0.2% saben permukaan @10.6μ